固态微波芯片的外延设备主要包括金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备、分子束外延（MBE）设备、气相外延（CVD）设备等。

这些设备都是用于生长材料外延片的基础设备，可以在晶体生长过程中控制温度、气体流量、压力等参数，从而得到均匀、高质量、低缺陷的外延片。

这些外延片作为芯片制造的重要原料，具有丰富的物理、化学性质，能够应用于射频、微波、太赫兹器件等领域。